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    臺積電計劃今年底將部分EUV光刻機關機 生產一天需要3萬度電左右

    2022-09-07 11:27:19來源:快科技   

    此前有消息稱由于先進工藝產能過剩,臺積電計劃今年底將部分EUV光刻機關機,以便節省電費支出,臺積電日前也回應了,表示不評論市場傳聞。

    臺積電稱,本公司針對機臺設備皆有年度規劃,并依循計劃,在不影響正常營運的前提下,進行例行維護與升級。

    上周來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱,由于先進制程產能利用率開始下滑,而且評估之后下滑時間會持續一段周期,臺積電計劃從年底開始,將部分EUV 設備關機,以節省EUV設備巨大的耗電支出。

    據了解臺積電目前擁有大約80臺EUV光刻機,主要用于7nm、5nm及以下的先進工藝,今年9月份還會量產3nm工藝,都需要EUV光刻機,然而隨著PC、手機、顯卡等產品的需求下滑,先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。

    相比之前的DUV光刻機,EUV光刻機需要使用高能激光器,而且光線會多次折射導致損耗極大,早期效率只有0.02%,現在量產的說是可以達到2%效率,但也意味著絕大多數電力都要消耗掉。

    EUV光刻機生產一天需要3萬度電左右,一年耗電大約1000萬度,是十足的電老虎。

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