臺(tái)積電計(jì)劃今年底將部分EUV光刻機(jī)關(guān)機(jī) 生產(chǎn)一天需要3萬(wàn)度電左右

2022-09-07 11:27:19來(lái)源：快科技

此前有消息稱由于先進(jìn)工藝產(chǎn)能過(guò)剩，臺(tái)積電計(jì)劃今年底將部分EUV光刻機(jī)關(guān)機(jī)，以便節(jié)省電費(fèi)支出，臺(tái)積電日前也回應(yīng)了，表示不評(píng)論市場(chǎng)傳聞。

臺(tái)積電稱，本公司針對(duì)機(jī)臺(tái)設(shè)備皆有年度規(guī)劃，并依循計(jì)劃，在不影響正常營(yíng)運(yùn)的前提下，進(jìn)行例行維護(hù)與升級(jí)。

上周來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士手機(jī)晶片達(dá)人的消息稱，由于先進(jìn)制程產(chǎn)能利用率開(kāi)始下滑，而且評(píng)估之后下滑時(shí)間會(huì)持續(xù)一段周期，臺(tái)積電計(jì)劃從年底開(kāi)始，將部分EUV 設(shè)備關(guān)機(jī)，以節(jié)省EUV設(shè)備巨大的耗電支出。

據(jù)了解臺(tái)積電目前擁有大約80臺(tái)EUV光刻機(jī)，主要用于7nm、5nm及以下的先進(jìn)工藝，今年9月份還會(huì)量產(chǎn)3nm工藝，都需要EUV光刻機(jī)，然而隨著PC、手機(jī)、顯卡等產(chǎn)品的需求下滑，先進(jìn)工藝生產(chǎn)的芯片勢(shì)必會(huì)受到影響。

相比之前的DUV光刻機(jī)，EUV光刻機(jī)需要使用高能激光器，而且光線會(huì)多次折射導(dǎo)致?lián)p耗極大，早期效率只有0.02%，現(xiàn)在量產(chǎn)的說(shuō)是可以達(dá)到2%效率，但也意味著絕大多數(shù)電力都要消耗掉。

EUV光刻機(jī)生產(chǎn)一天需要3萬(wàn)度電左右，一年耗電大約1000萬(wàn)度，是十足的電老虎。

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